1. Введение
Замедление темпов масштабирования КМОП-технологии и быстрый рост стоимости проектирования по передовым технологическим нормам привели к пересмотру традиционной парадигмы «одна система — один кристалл». Изготовление крупного монолитного кристалла по норме 5–7 нм сопровождается снижением выхода годных и удорожанием каждого квадратного миллиметра площади, при этом значительная часть блоков системы (аналоговые узлы, схемы ввода-вывода, силовые каскады) практически не выигрывает от перехода на более тонкую норму.
Ответом отрасли стала чиплетная, или гетерогенная, интеграция: система разбивается на несколько специализированных кристаллов, каждый из которых изготавливается по оптимальной для него технологии, после чего кристаллы объединяются в одном корпусе. Подход отработан в серийных процессорах ведущих производителей [2, 3, 8] и закреплён отраслевыми стандартами межкристалльных интерфейсов [1, 7].
Для производителей радиоэлектронной аппаратуры (РЭА), не располагающих собственным полупроводниковым производством, чиплетная интеграция открывает возможность заказывать сборку специализированных модулей у контрактных предприятий сборки и тестирования — OSAT (Outsourced Semiconductor Assembly and Test). Цель настоящей статьи — систематизировать технологические основы чиплетной интеграции и оценить преимущества и ограничения заказа интегрированных чиплетных модулей по сравнению с применением набора независимых микросхем на печатной плате.
2. Основные понятия и определения
Соотношение монолитного и чиплетного подходов иллюстрирует рис. 1. В монолитной системе на кристалле (СнК) все функциональные блоки размещены на одном кристалле и изготовлены по единой норме. При чиплетной компоновке те же блоки реализованы отдельными кристаллами, размещёнными на общей подложке или интерпозере; каждый кристалл может изготавливаться по собственной технологии и поставляться независимым разработчиком.

Рис. 1. Планировка кристаллов: монолитная СнК и чиплетный модуль
3. Технологические основы чиплетной интеграции
3.1. Уровни интеграции
По способу размещения и соединения кристаллов в корпусе принято выделять три уровня интеграции (рис. 2).
– 2D-интеграция: кристаллы монтируются рядом непосредственно на подложку корпуса методом перевёрнутого кристалла (flip-chip). Связи между кристаллами проходят по слоям органической подложки; это наиболее дешёвый вариант с умеренной плотностью соединений.
– 2.5D-интеграция: между подложкой и кристаллами вводится кремниевый интерпозер — пластина со сквозными переходными отверстиями (TSV, Through-Silicon Via) и тонкими металлическими слоями. Кристаллы соединяются с интерпозером микровыводами с шагом в десятки микрометров, что обеспечивает высокую плотность связей; типичный пример — процессор с памятью HBM на общем интерпозере [3].
– 3D-интеграция: кристаллы устанавливаются друг на друга; сигналы проходят через TSV нижнего кристалла. Достигаются максимальная плотность соединений и компактность, однако усложняются отвод тепла и тестирование.

Рис. 2. Варианты интеграции чиплетов в корпусе (поперечный разрез)
| Характеристика | 2D (подложка) | 2.5D (интерпозер) | 3D (стек) |
|---|---|---|---|
| Носитель межсоединений | органическая подложка | кремниевый интерпозер c TSV | нижний кристалл c TSV |
| Плотность связей | умеренная | высокая | максимальная |
| Типичный шаг выводов | ≈ 100 мкм и более | ≈ 25–55 мкм | до единиц мкм (гибридное соединение) |
| Длина линий связи | миллиметры | единицы миллиметров | десятки–сотни микрометров |
| Относительная стоимость сборки | низкая | высокая | наиболее высокая |
| Сложность теплоотвода | низкая | умеренная | высокая |
| Типовые применения | недорогие SiP-модули | процессоры с памятью HBM | стеки памяти, кэш поверх ядра |
3.2. Межкристалльные интерфейсы
Разделение системы на кристаллы предъявляет жёсткие требования к связям «кристалл–кристалл»: их пропускная способность и энергоэффективность должны приближаться к показателям внутрикристалльных шин. Для унификации таких связей отрасль выработала открытые стандарты. Спецификация UCIe (Universal Chiplet Interconnect Express), выпущенная одноимённым консорциумом, определяет физический и протокольный уровни интерфейса, допуская работу как по органической подложке, так и по интерпозеру [1]. Открытый интерфейс BoW (Bunch of Wires), развиваемый в рамках проекта ODSA, ориентирован на простые и дешёвые реализации по органическим подложкам [7]. Наличие стандартов позволяет объединять в модуле кристаллы разных поставщиков без разработки заказных интерфейсов.
Типовая структура чиплетного модуля показана на рис. 3: вычислительные чиплеты соединены между собой и с чиплетом ввода-вывода стандартными межкристалльными интерфейсами, стеки памяти HBM размещены в непосредственной близости от вычислительных кристаллов.

Рис. 3. Структура чиплетного модуля (вид сверху)
4. Производственная кооперация и роль OSAT
Производителям РЭА зачастую экономически нецелесообразно (или невозможно) самостоятельно разрабатывать и выпускать полупроводниковые кристаллы. Чиплетная модель разделяет цепочку создания изделия между специализированными участниками (рис. 4): разработчики чиплетов передают топологии кристаллов на кремниевую фабрику; изготовленные пластины проходят тестирование, из них отбираются годные кристаллы (KGD); OSAT-подрядчик по техническому заданию заказчика выполняет сборку кристаллов в корпус и финальное тестирование модуля; готовый модуль поставляется производителю РЭА для монтажа на плату изделия.
Существенно, что в одном корпусе могут совмещаться кристаллы от разных поставщиков и по разным технологическим нормам, а итоговый модуль изготавливается по спецификации конкретного заказчика — фактически производитель РЭА получает «собственную» заказную микросхему без затрат на полный цикл полупроводникового проектирования.

Рис. 4. Модель кооперации при заказе чиплетного модуля
5. Сравнительный анализ подходов к построению электронного узла
Сопоставим три подхода к построению функционального узла аппаратуры: монолитную СнК, набор независимых микросхем на печатной плате и заказной чиплетный модуль (таблица 2).
| Критерий | Монолитная СнК | Набор микросхем на плате | Чиплетный модуль |
|---|---|---|---|
| Технологическая норма блоков | единая для всех блоков | своя у каждой микросхемы | своя у каждого чиплета |
| Плотность и энергоэффективность связей | максимальная (внутри кристалла) | низкая (трассы платы) | высокая (интерпозер, подложка) |
| Занимаемая площадь на плате | минимальная | большая | малая |
| Затраты на разработку (NRE) | очень высокие | низкие | средние |
| Гибкость конфигурации | низкая | высокая | высокая |
| Число паяных соединений на плате | минимальное | большое | малое |
| Выход годных при большой площади системы | низкий | высокий (малые кристаллы) | высокий (малые кристаллы) |
С точки зрения производителя РЭА наиболее показательно сравнение чиплетного модуля с набором независимых микросхем (рис. 5). Замена десятка корпусов одним модулем упрощает печатную плату: сокращаются число слоёв, объём трассировки и количество переходных отверстий, высвобождается площадь под другие подсистемы либо уменьшаются габариты изделия.

Рис. 5. Печатная плата: набор микросхем и чиплетный модуль
6. Преимущества чиплетного модуля для производителя РЭА
6.1. Сокращение совокупных затрат
– Упрощение печатной платы. Один корпус с несколькими кристаллами вместо множества отдельных микросхем снижает сложность платы (меньше слоёв, трассировки и переходных отверстий), что уменьшает стоимость материалов и сборки.
– Снижение логистических издержек. Вместо закупки, входного контроля и хранения нескольких номенклатурных позиций производитель получает один законченный модуль, что упрощает управление запасами и поставщиками.
– Оптимальный подбор кристаллов. Для каждой функции выбирается лучший по соотношению характеристик и цены кристалл, в том числе от разных поставщиков; исключается оплата избыточной функциональности «универсальных» микросхем.
6.2. Ускорение вывода продукта на рынок
– Меньший объём интеграционных работ. Совместимость интерфейсов, питание и целостность сигналов внутри модуля гарантированы его изготовителем, что сокращает объём доводки и тестирования на уровне платы.
– Параллельное проектирование. Пока OSAT-подрядчик выполняет сборку и тестирование модуля, разработчик аппаратуры готовит программное обеспечение и конструктив под согласованный набор функциональных блоков.
– Меньше итераций платы. Вопросы согласования высокоскоростных шин решаются внутри корпуса, поэтому сокращается число ревизий печатной платы — каждая из которых требует затрат времени и средств.
6.3. Компактность и надёжность
– Уменьшение габаритов. Сборка ключевых узлов в одном корпусе высвобождает место на плате, что особенно важно для носимых, медицинских и встраиваемых устройств.
– Сокращение числа паяных соединений. Каждое соединение между отдельными корпусами на плате — потенциальный источник отказа; их замена внутренними связями модуля повышает надёжность изделия.
– Улучшение электрических характеристик. Внутренние связи между кристаллами короче и лучше экранированы, чем трассы платы, что снижает потери, помехи и энергопотребление интерфейсов.
6.4. Продуктовая дифференциация
– Изделие под собственным брендом. Заказчик получает модуль, выполненный по его спецификации, — по существу собственную микросхему без полного цикла полупроводниковой разработки.
– Уникальная конфигурация под нишу. Состав модуля подбирается под требования конкретных применений: телекоммуникации, автомобильная электроника, специальная техника и др.
Сводная характеристика групп преимуществ приведена в таблице 3 и на рис. 6.
| Группа преимуществ | Основной механизм | Ожидаемый эффект |
|---|---|---|
| Снижение затрат | упрощение платы; консолидация закупок; оптимальный подбор кристаллов | снижение себестоимости изделия и складских запасов |
| Сокращение сроков | готовые согласованные интерфейсы внутри корпуса; параллельная разработка | сокращение цикла разработки; меньше ревизий платы |
| Компактность и надёжность | короткие экранированные связи; меньше паяных соединений | уменьшение габаритов; рост наработки на отказ |
| Дифференциация | модуль по спецификации заказчика | продукт под собственным брендом; преимущество в нише |

Рис. 6. Ключевые группы преимуществ чиплетного модуля
7. Ограничения и риски чиплетного подхода
Объективная оценка требует учёта и ограничений технологии. Во-первых, плотная компоновка кристаллов усложняет тепловой режим: суммарная рассеиваемая мощность концентрируется на малой площади, а при 3D-интеграции нижние кристаллы дополнительно нагреваются верхними. Во-вторых, усложняется тестирование: помимо отбора KGD, требуется контроль собранного модуля, а локализация отказа внутри корпуса значительно труднее, чем на плате.
В-третьих, применение кремниевого интерпозера и микросборки заметно повышает стоимость корпусирования; при малых сериях единовременные затраты на подготовку производства модуля (NRE) могут не окупиться, и набор готовых микросхем останется рациональным выбором. Наконец, заказчик попадает в зависимость от экосистемы: доступности совместимых чиплетов, стабильности поставщиков и зрелости стандартов межкристалльных интерфейсов [6, 8]. Решение о переходе на чиплетный модуль должно приниматься по результатам технико-экономического расчёта для конкретного изделия и планируемых объёмов выпуска.
8. Заключение
Чиплетная интеграция переносит значительную часть системной сложности с печатной платы внутрь корпуса микросхемы. Для производителя радиоэлектронной аппаратуры заказ интегрированного чиплетного модуля у OSAT-подрядчика означает сокращение совокупных затрат и сроков вывода изделия на рынок, уменьшение габаритов и повышение надёжности, а также возможность выпускать продукт с уникальной конфигурацией под собственным брендом. Вместе с тем подход сопряжён с усложнением теплового проектирования и тестирования и экономически оправдан не при любых объёмах выпуска. По мере развития стандартов UCIe и BoW и расширения рынка готовых чиплетов порог входа в заказную гетерогенную интеграцию продолжит снижаться, делая её доступной всё более широкому кругу производителей аппаратуры.
Глоссарий
| Термин | Определение | |
|---|---|---|
| Чиплет | малый кристалл, реализующий законченный функциональный блок и предназначенный для объединения с другими кристаллами в одном корпусе | |
| Гетерогенная интеграция | объединение в одном корпусе кристаллов, изготовленных по разным технологиям и разными производителями | |
| Интерпозер | промежуточная кремниевая пластина с TSV и тонкими металлическими слоями, обеспечивающая плотные связи между кристаллами | |
| TSV (Through-Silicon Via) | сквозное переходное отверстие в кремнии — вертикальное проводящее соединение через толщу кристалла или интерпозера | |
| Микровыводы (microbumps) | миниатюрные паяные выводы с шагом в десятки микрометров, соединяющие кристалл с интерпозером | |
| KGD (Known Good Die) | кристалл, признанный годным по результатам полного тестирования до операции сборки | |
| OSAT | контрактное предприятие, выполняющее сборку (корпусирование) и тестирование полупроводниковых изделий | |
| SiP (System-in-Package) | система в корпусе — законченная система из нескольких кристаллов и компонентов в общем корпусе | |
| HBM (High Bandwidth Memory) | многослойная память с высокой пропускной способностью, выполненная в виде 3D-стека кристаллов | |
| UCIe | открытый отраслевой стандарт межкристалльного интерфейса «кристалл–кристалл» | |
| BoW (Bunch of Wires) | открытый межкристалльный интерфейс проекта ODSA для органических подложек | |
| NRE | единовременные затраты на разработку и подготовку производства изделия |
Список литературы
- Universal Chiplet Interconnect Express (UCIe) Specification, Revision 1.1. UCIe Consortium, 2023.
- Naffziger S., Beck N., Burd T. et al. Pioneering Chiplet Technology and Design for the AMD EPYC and Ryzen Processor Families // Proceedings of the 48th Annual International Symposium on Computer Architecture (ISCA). 2021. P. 57–70.
- Mahajan R., Sankman R., Patel N. et al. Embedded Multi-Die Interconnect Bridge (EMIB) — A High Density, High Bandwidth Packaging Interconnect // Proceedings of the 66th IEEE Electronic Components and Technology Conference (ECTC). 2016. P. 557–565.
- Lau J. H. Chiplet Design and Heterogeneous Integration Packaging. Singapore: Springer, 2023.
- Iyer S. S. Heterogeneous Integration for Performance and Scaling // IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology. 2016. Vol. 6, No. 7. P. 973–982.
- Heterogeneous Integration Roadmap, 2023 Edition. IEEE Electronics Packaging Society.
- Bunch of Wires (BoW) PHY Specification. Open Domain-Specific Architecture (ODSA), Open Compute Project.
- Loh G. H., Naffziger S., Lepak K. Understanding Chiplets Today to Anticipate Future Integration Opportunities and Limits // Design, Automation and Test in Europe Conference (DATE). 2021.